MEMS est l'abréviation de système micro-moteur. La taille de miniaturisation individuelle du produit fini est de l'ordre du millimètre voire du micron. Il est largement utilisé dans les communications 5G, la surveillance de la sécurité, l'automatisation industrielle, l'électronique automobile et d'autres domaines. A ce stade, on peut dire que presque tous les produits électroniques sont appliqués aux MEMS.
Avantages du dispositif MEMS : petite taille, poids léger, intégration facile, faible consommation d'énergie, haute sensibilité et bien d'autres avantages. Et peut être produit en série. Bien qu'il puisse être produit en série, l'emballage MEMS n'est pas universel. Selon les différents types fonctionnels de composants MEMS, la structure des composants et les méthodes de conditionnement sont différentes et le type dédié est plus élevé.
La technologie d'assemblage au niveau de la puce est couramment utilisée à ce stade. Naturellement, il existe des exigences assez strictes concernant la précision de l'assemblage, l'environnement d'exploitation et les méthodes d'alignement.
Difficultés de l'assemblage au niveau de la puce MEMS
1. Norme de précision d'emballage élevée
Le logiciel du système MEMS comprend une interface de signal de données unique, un boîtier, une paroi interne et d'autres structures, ce qui augmente la difficulté du contrôle de la position et de l'angle lors de la sélection et du placement pendant tout le processus de connexion par fil des composants MEMS et des substrats multifonctionnels.
2. Le matériau est fragile et se brise facilement
Les dispositifs MEMS, tels que les micro-accéléromètres, les micro-moteurs, etc., ont généralement des structures mécaniques telles que des cavités ou des porte-à-faux intégrés. Ces structures sont de petite taille et ont une résistance mécanique beaucoup plus faible que les puces IC. Ils sont très vulnérables au contact physique pendant l'assemblage et d'autres processus.
De nombreuses pièces du dispositif MEMS sont non seulement de petite taille, mais également fragiles et fragiles, telles que des rainures profondes et des secteurs, de sorte que la pression de travail appliquée lors du collage est très importante. Si la pression de travail est trop faible, la connexion ne sera pas fermée ; si la pression de service est trop élevée, les composants seront endommagés.
On peut voir que des niveaux de précision précis et des amplitudes de liaison sont des conditions nécessaires pour améliorer le taux de réussite de l'installation d'émetteurs-récepteurs radiofréquence MEMS.
Lorsque l'épaisseur du dispositif MEMS est comprise entre 50 et 150 μm, la pression de travail de liaison de fil sélectionnée est comprise entre 50 et 100 g et le déplacement de rotation doit être inférieur à 0,3 °, de sorte que les dommages aux composants puissent être réduits dans une large mesure. , et la conformité peut être améliorée. Taux.
Alignement de haute précision, type patch, pour assurer le taux de réussite
Retour au niveau du micron pour obtenir des informations de données précises, précision de contrôle de force de ± 0,01 N, niveau de précision de répétabilité linéaire de ± 2 m, niveau de précision de répétabilité de rotation de ± 0,01 °, déviation radiale inférieure à 10 m, spécification de résolution du codeur 1 m, disponible en sortie stable même sous haute -vitesse de fonctionnement, amélioration du taux de qualification et de la stabilité.
Aspiration sous vide, pression de travail contrôlable, réduction de la consommation
Le moteur rotatif linéaire Guoao adopte une conception à axe Z creux, une douille trachéale réservée, une aspiration sous vide, plug and play, et peut fournir des services personnalisés en fonction de la structure et des caractéristiques des composants ;
Contient un"atterrissage en douceur" fonction, qui peut compléter le contrôle de la force stable dans ± 1,5 g, et peut personnaliser les paramètres tels que la vitesse, l'accélération et le contrôle de la force, de sorte que la tête de placement puisse toucher les composants MEMS avec une pression de travail très précise, réduisant l'épuisement.
& quot;Z+R" conception intégrée de l'axe pour augmenter la vitesse
La solution intégrée innovante à deux axes combine le traditionnel"servomoteur + vis à billes" en un seul, qui peut bien gérer le problème de charge de poids propre de l'axe Z, et le composant complet Pick& Place, placement et autres actions à grande vitesse et précision. Poussée La courbe est lisse, la poussée maximale est de 8 à 50 N, la course effective est de 10 à 50 mm et la durée de vie ultra-élevée permet une production efficace.
